Wavetek MS1000 User Manual Page 59

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Technologische Anlagen Anlagen Wafertechnologie Seite 59 von 60
Chemiemodule
Hersteller: Equidec GmbH
Dosieren und zur Versorgung von nasschemischen Prozess-
anlagen mit flüssigen Chemikalien der Qualität VLSI/ULSI
und mehreren Anlagenanschlüssen.
Slurryversorgung
Mischen aus einem oder zwei Fässern
Geometrie- und Widerstandsmessgerät
für 300 mm Siliziumscheiben
DSP-Anlage Wolters AC2000-P²
Hersteller: Peter Wolters AG
Doppelseitenpolieranlage für 300 mm Siliziumscheiben
Partikelzähler LS-6700
Hersteller: Hitachi
Partikelmessgerät
High sensitivity (50nm:Bare)
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